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研究方向  :  半导体湿法刻蚀与清洗工艺

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研究方向  :  1.先进等离子体刻蚀工艺；2.等离子体多物理场建模；3.集成电路虚拟智造技术

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研究方向  :  1.集成电路智能制造（光刻工艺模型、数据分析算法）；2.光电探测器；3.fNIRS/EEG

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研究方向  :  1.集成电路制造成套工艺开发；2.碳材料的制备及调控技术开发；3.高性能X射线探测、红外探测器件的研究

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研究方向  :  1.低能耗集成电路设计；2.人工智能芯片设计与应用；3.智能传感电路设计

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研究方向  :  1. CMOS工艺优化与整合2. 集成电路智能制造3. 硅光器件工艺开发

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研究方向  :  1、CMOS平台硅光器件设计和工艺开发2、半导体光电子集成器件研究

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研究方向  :  1.      后摩尔时代纳米半导体器件物理2.      基于量子输运的器件多物理耦合分析3.      先进制程TCAD仿真计算方法与应用4.      机器学习赋能的TCAD和DTCO

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研究方向  :  聚焦硅基光电子集成器件的设计和制备及其PDK开发，并探索在光谱传感、激光器和微波光子方向的应用 

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研究方向  :  研究方向：针对AI大模型对高带宽、低时延、低功耗算力集群的需求，围绕核心光子集成器件(光线路交换、光调制等)以及光算力互连中片上光电系统展开研究。

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